等離子蝕刻機將高頻高壓施加到放電電極上，形成大量等離子體，與高壓聚乙烯外表分子結(jié)構(gòu)可以直接或間接地功用，在外表分子結(jié)構(gòu)鏈上形成正負官能團，界面張力顯著增大，加上粗糙化外表油、水、灰等協(xié)同作用，增強其附著力。

等離子蝕刻機具有處理時間短、速度快、操作簡單、易于控制等優(yōu)點。以下是幾個方面:
1.等離子蝕刻機的清洗功能:可以去除基體外表的弱鍵和典型的-CH基有機雜物和氧化物。主要特點:對材料外表起功用，內(nèi)部無腐蝕，可獲得超高潔凈度外表，為下一道道環(huán)節(jié)做好充分的準備。
2.等離子蝕刻機的腐蝕功用:通過典型的氣體組合，形成具有具有腐蝕性的的氣相等離子體與物塊外表的有機物發(fā)生氧化還原反應，形成一氧化碳、二氧化碳、H2O等其他氣體，從而達到等離子體腐蝕的目的。主要特點:材料工件腐蝕均勻；不損傷工件基體；能有效去除外表異物，達到理想的腐蝕程度。
3.等離子蝕刻機的活化功用：官能團具有穩(wěn)定的親水性，對粘結(jié)有積極功用。其主要特征：可使聚合物外表形成活性原子、自由基和不飽和鍵，與等離子體內(nèi)的活性顆粒發(fā)生反應，形成新的活性官能團，增加外表能量，改變外表的化學性質(zhì)，能有效地增強外表附著力和粘結(jié)力。
4.等離子蝕刻機的涂裝功能:在等離子蝕刻機的涂裝中，兩種氣體與此同時進到反應室，氣體在等離子體的功效下匯聚。這比激活、清潔的應用要求更高。主要特點:可以使材料外表的分子結(jié)構(gòu)鏈斷裂，形成新的自由基、雙鍵等活性官能團，從而在過程中形成交聯(lián)、分支等反應；活性氣體可以在材料外表匯聚形成一層沉積層，沉積層的存在將有效增強材料外表的粘接、涂層和印刷的粘結(jié)力。
       伴隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，等離子蝕刻機已成為許多電子信息產(chǎn)業(yè)的基本設備。隨之制造業(yè)技術(shù)規(guī)范的持續(xù)增強，國內(nèi)等離子清洗技術(shù)的發(fā)展空間越來越大。