真空等離子（電漿）清洗機(jī)的維護(hù)和保養(yǎng)：

     第一，在進(jìn)行任何維修或保養(yǎng)之前，所有相關(guān)的安全預(yù)防措施都應(yīng)采取，而不限于本使用手冊(cè)所述。要關(guān)閉設(shè)備電源開(kāi)關(guān)，切斷總電源保護(hù)器，關(guān)閉所有的煤氣，準(zhǔn)備必要的工具包。

     第二，真空腔與真空發(fā)生系統(tǒng)的維護(hù)。

     A、真空腔和電極板是處理工件的工作區(qū)域，當(dāng)工件使用到一定時(shí)間后，腔體內(nèi)仍有部分污物附著在電極板和腔壁上。處置方法：連續(xù)使用一個(gè)月后，用無(wú)塵布(紙)沾酒精清洗所有的電極板和腔壁，保持腔壁清潔。

     B、觀察窗是指工作人員在工作時(shí)觀察空腔內(nèi)放電的窗口，在使用一段時(shí)間后，窗口玻璃表面產(chǎn)生的微蝕會(huì)使觀察窗變得模糊。使用無(wú)塵布料(紙)，沾上酒精或丙酮，清洗玻璃或直接更換真空玻璃。

     C、真空泵中使用的油為防氧化專用油，及時(shí)更換對(duì)真空泵的正常工作有利，延長(zhǎng)泵體的使用壽命，建議每隔三個(gè)月更換一次，要經(jīng)常注意觀察真空泵內(nèi)的油量是否充足，油面若低于使用下限(油面計(jì)旁有明顯標(biāo)志)，應(yīng)及時(shí)給泵注入新油，直至正常使用。

     真空泵油的具體更換步驟：

     為真空泵加油口打開(kāi)注油塞(內(nèi)六角扳手)；打開(kāi)放油門(mén)上的放油塞子(注意旋鈕開(kāi)關(guān)方向)；安全地放油，此時(shí)測(cè)油儀內(nèi)的油面將下降；清空泵內(nèi)的油液后將排油塞擰緊；從加油口注入新的油，并加適量超出下限；用六角扳手緊固注油塞。注：替換時(shí)請(qǐng)注純純專用油，把泵里原來(lái)用過(guò)的油請(qǐng)放干凈。員工換油時(shí)須戴膠皮手套、口罩。請(qǐng)將排放的廢油妥善處理，并安全處置。泵排氣口與油霧濾清器連接在一起，油霧濾清器可除去90%的真空泵排放的油霧，可防止對(duì)工作環(huán)境的污染，并可起到消音作用。濾下的油應(yīng)從油槽中排出出本體，否則機(jī)油會(huì)在濾芯和本體之間積聚，從而造成油霧。

     一、濾芯過(guò)濾裝置建議使用三個(gè)月更換一次。如果不排出廢氣，檢查濾芯是否堵塞，必要時(shí)更換濾芯。電漿為高頻器件，涉及頻率漂移等問(wèn)題，使用時(shí)應(yīng)在2年左右調(diào)整一次，客戶要確定好時(shí)間后與我們聯(lián)系，返廠進(jìn)行校正調(diào)整。為確保真空密封的可靠性，設(shè)備密封在18個(gè)月內(nèi)更換一次，此后每隔18個(gè)月更換一次。真空等離子清洗機(jī)消耗品清單：

     (1)真空腔：真空腔主要分為兩類：1)不銹鋼真空腔；2)石英腔。

     是否比較了真空等離子清洗和傳統(tǒng)清洗？

     其次，整個(gè)處理過(guò)程沒(méi)有污染。血漿清洗機(jī)本身是非常環(huán)保的設(shè)備，不會(huì)對(duì)環(huán)境造成任何污染，處理過(guò)程也不會(huì)造成污染。

     接著，處理效率高，可以在線全自動(dòng)生產(chǎn)。等離子體清洗，只要對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，一般在2S內(nèi)即可達(dá)到效果?？膳c原生產(chǎn)線配套，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn)，節(jié)省人力成本。處理效果是穩(wěn)定的。等離子體清洗處理效果非常均勻、穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后長(zhǎng)期保持效果良好。

     真空式等離子處理系統(tǒng)設(shè)備參數(shù)：

     射頻電源功率（RF Power）：600W/13.56MHz。

     (2)真空泵：有多種類型的真空泵，其選用都會(huì)根據(jù)用戶真空度、體積要求進(jìn)行配置。

     作為一種重要材料表面改性方法，真空等離子清洗在許多領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。同超聲清洗、UV清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比，小型真空等離子清洗機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

     先處理溫度較低。加工溫度可低至80℃，溫度在50℃以下，加工溫度較低，可保證樣品表面無(wú)熱損傷。